一體化振動溫度傳感器是指通過集成振動傳感芯片和溫度傳感器芯片，按應(yīng)用需求進行封裝和信號輸出的一種復(fù)合型傳感器變送器。
基于傳感器測量時輸入單一靈敏度，用于描述在一定的頻響范圍內(nèi)，傳感器的靈敏度是否滿足實際的靈敏度的指標(biāo)就是線性度。相對來看，在低頻段，傳感器的靈敏度會少于實際的靈敏度，而在高頻段，則靈敏度會大于實際的靈敏度。只有在中間頻段，靈敏度滿足線性關(guān)系。如果傳感器不在線性區(qū)間，所以測量得到的幅值會誤差較大，一般來說要求傳感器非線性<1%。
在測量某個方向的振動時，理論上信號輸出應(yīng)為振動感知方向，但實際上在與該方向垂直的方向也有信號輸出，從而形成了一種干擾，這種效應(yīng)稱為橫向效應(yīng)。橫向效應(yīng)靈敏度越低，傳感器性能越好，但通常，一體化振動溫度傳感器都存在一定的橫向效應(yīng)，國標(biāo)的要求是橫向靈敏度應(yīng)<5%。
由于傳感器自身也屬于一種結(jié)構(gòu)，所以也有它的固有頻率。一般把傳感器的第壹階固有頻率叫做諧振頻率。傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸越小，諧振頻率越高。振動傳感器的使用上限頻率取決于幅頻曲線中的諧振頻率。一般要求＞20kHz。
一體化振動溫度傳感器關(guān)鍵測試點：
1、線性度；
2、橫向靈敏度；
3、諧振頻率；
4、頻響特性；
5、溫度測量精度；
6、溫度測量響應(yīng)時間。
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